ASML推出面向中国市场的特别版DUV光刻机，规避荷兰销售许可禁令。

2023-07-06 16:52:16 编辑：邱栋贵来源：

导读近日，据DigiTimes报道，ASML公司试图规避荷兰的新销售许可禁令，推出面向中国市场的特别版DUV光刻机。如果该项目顺利推进，中芯国际、华虹...

近日，据DigiTimes报道，ASML公司试图规避荷兰的新销售许可禁令，推出面向中国市场的特别版DUV光刻机。如果该项目顺利推进，中芯国际、华虹等中国半导体企业将能够继续使用荷兰的设备生产28纳米及更成熟工艺的芯片。

据消息透露，这款特别版DUV光刻机是基于Twinscan NXT: 1980Di光刻系统进行改造的。而1980Di是10年前推出的旧型号，不在本次官方禁令范围内。虽然1980Di光刻机的效率相对较低，但它支持NA 1.35光学器件，分辨率可以达到小于38纳米，理论上能够支持7纳米工艺。

这一举措被认为是ASML公司试图规避荷兰销售许可禁令的一种策略。荷兰新销售许可禁令对一些高级制造设备的出口进行了限制，其中包括用于半导体制造的光刻机。然而，ASML公司通过推出基于旧型号的特别版DUV光刻机，似乎找到了规避禁令的方法。

对于中国半导体企业来说，这款特别版DUV光刻机的推出无疑是一项重要的利好消息。中芯国际、华虹等公司将能够继续使用这些荷兰设备，保持生产28纳米及更成熟工艺的芯片的能力。

然而，这一举措也引发了一些讨论和关注。一方面，特别版DUV光刻机虽然基于旧型号进行改造，但其仍然具备支持较为先进的工艺的潜力。另一方面，ASML公司的行为是否符合荷兰销售许可禁令的意图，以及是否会引发更广泛的讨论和争议，尚待观察。

总之，ASML公司推出面向中国市场的特别标题: "ASML推出面向中国市场的特别版DUV光刻机，规避荷兰销售许可禁令"

标签： ASML，特别版DUV光刻机

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