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来自西伯利亚联邦大学(SFU)的一组研究人员获得了薄铜/金和铁/钯薄膜,并研究了加热时发生的反应。了解这些过程后,科学家们将能够改善目前微电子技术中所用材料的性能。该研究发表在“固态化学杂志”上。
基于薄金属膜的材料广泛用于微电子学。基于铁和钯的纳米材料具有独特的磁性,并且可能用于信息的高密度磁记录。影响薄膜材料性质的主要因素之一是由于化学反应和原子结构重新排列而改变相组成。研究人员的工作包括两层薄金属薄膜中的固相反应 - 铜/金(Cu / Au)和iro /钯(Fe / Pl)。
科学家在SFU通用中心获得了Cu / Au和Fe / Pd薄膜。为此,他们在高真空中使用电子束沉积的方法,即使用电子束蒸发合金,然后将其作为薄层沉积在承载基底上。可以调节层的厚度。在获得这些电影后,科学家们做了一个实验来研究初始元素界面区域的化学反应过程。对于发生的反应,必须将材料加热至高温,这直接在透射电子显微镜的柱中进行。该团队使用了一个特殊的样品架,可以从室温控制加热每个样品随着加热,该团队记录了电子衍射图像并测量了温度。因此,科学家设法在一个实验中将反应的开始和固相反应的变化登记结合起来,并确保高数据精确度。
“我们已经确定了长程有序参数的值和反应过程中形成的原子级有序相中有序 - 无序转变的温度。这些相的原子形成了某些形状的有序结构。我们还建议形成这种有序结构的机制。例如,在Cu / Au系统的情况下,我们证明了铜和金在反应初始阶段的相互扩散如何导致初始材料的晶粒细化和在材料中形成Cu-Au固溶体纳米晶体。后来,在这些成分的基础上出现了一个新的有序结构并开始生长,“Evgeny Moiseenko解释说,他是该项工作的合着者,物理和数学的候选人,和SFU的研究助理。
科学家的工作将有助于确定可用于微电子器件设计的研究薄膜系统的特征。
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